|
Wafer-level micropackaging in thin film technology for RF MEMS applications |
|
|
|
Titel: |
Wafer-level micropackaging in thin film technology for RF MEMS applications |
Auteur: |
Persano, A. Siciliano, P. Quaranta, F. Taurino, A. Lucibello, A. Marcelli, Romolo Capoccia, G. Proietti, E. Bagolini, A. Iannacci, J. |
Verschenen in: |
Microsystem technologies |
Paginering: |
Jaargang 24 (2017) nr. 1 pagina's 575-585 |
Jaar: |
2017 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|