|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 46 van 93 gevonden artikelen
| Titel: |
Gallium nitride MEMS resonators: how residual stress impacts design and performances |
| Auteur: |
Morelle, Christophe Théron, Didier Derluyn, Joff Degroote, Stefan Germain, Marianne Zhang, Victor Buchaillot, Lionel Grimbert, Bertrand Tilmant, Pascal Vaurette, François Roch-Jeune, Isabelle Brandli, Virginie Avramovic, Vanessa Okada, Etienne Faucher, Marc |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 24 (2017) nr. 1 pagina's 371-377 |
| Jaar: |
2017 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 46 van 93 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |