|
Development of a 2D array of micromachined electromagnetic digital actuators for micro-conveyance applications |
|
|
|
Titel: |
Development of a 2D array of micromachined electromagnetic digital actuators for micro-conveyance applications |
Auteur: |
Shi, Zhichao Bélier, Benoît Martincic, Emile Petit, Laurent Moulin, Johan Lefeuvre, Elie Terrien, Jérémy Prelle, Christine Lamarque, Frédéric |
Verschenen in: |
Microsystem technologies |
Paginering: |
Jaargang 24 (2017) nr. 1 pagina's 411-417 |
Jaar: |
2017 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|