|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 9 van 50 gevonden artikelen
| Titel: |
Anisotropic etching of silicon in KOH + Triton X-100 for 45° micromirror applications |
| Auteur: |
Rola, Krzysztof P. |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 23 (2016) nr. 5 pagina's 1463-1473 |
| Jaar: |
2016 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 9 van 50 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |