|
Reliable response of RF MEMS LTCC packaged switches after mechanical and thermal stress |
|
|
|
Titel: |
Reliable response of RF MEMS LTCC packaged switches after mechanical and thermal stress |
Auteur: |
Lucibello, A. Capoccia, G. Proietti, E. Marcelli, R. Margesin, B. Mulloni, V. Giacomozzi, F. Vitulli, F. Scipioni, M. Bartolucci, G. |
Verschenen in: |
Microsystem technologies |
Paginering: |
Jaargang 22 (2015) nr. 3 pagina's 495-501 |
Jaar: |
2015 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|