|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 21 van 25 gevonden artikelen
| Titel: |
Post micromachining of MPW based CMOS–MEMS comb resonator and its mechanical and thermal characterization |
| Auteur: |
Dennis, John Ojur Ahmad, Farooq Khir, M. Haris Bin Md Hamid, Nor Hisham Bin |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 22 (2015) nr. 12 pagina's 2909-2919 |
| Jaar: |
2015 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 21 van 25 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |