|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 11 van 27 gevonden artikelen
| Titel: |
Fabrication of high aspect ratio silicon micro-structures based on aluminum mask patterned by IBE and RIE processing |
| Auteur: |
Mu, Jiliang Chou, Xiujian He, Ting Ma, Zongmin He, Jian Xiong, Jijun |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 22 (2015) nr. 1 pagina's 215-222 |
| Jaar: |
2015 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 11 van 27 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |