|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 26 gevonden artikelen
| Titel: |
A novel approach for MEMS with galvanic protection on SOI wafer |
| Auteur: |
Wei, Wenshan You, Weilong Zhao, Wei Yu, Zhengyin Pang, Jun Yang, Heng |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 21 (2014) nr. 9 pagina's 1959-1965 |
| Jaar: |
2014 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 26 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |