|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 15 van 26 gevonden artikelen
| Titel: |
Modeling of chemical mechanical polishing processes by cellular automata and finite element/matlab integration methods |
| Auteur: |
Chen, Kuo-Shen Wu, Shang-Lun Yeh, Hsiu-Ming |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 21 (2014) nr. 9 pagina's 1879-1892 |
| Jaar: |
2014 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 15 van 26 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |