|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 9 van 25 gevonden artikelen
| Titel: |
Design and fabrication of microtunnel and Si-diaphragm for ZnO based MEMS acoustic sensor for high SPL and low frequency application |
| Auteur: |
Ali, Washim Reza Prasad, Mahanth |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 21 (2014) nr. 6 pagina's 1249-1255 |
| Jaar: |
2014 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 9 van 25 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |