|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 15 van 25 gevonden artikelen
| Titel: |
Mechanical strengthening of Si cantilever by chemical KOH etching and its surface analysis by TEM and AFM |
| Auteur: |
Shikida, Mitsuhiro Niimi, Yosuke Hasegawa, Tatsuya Sugino, Tomoaki Hamaoka, Satoshi Fukuzawa, Kenji |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 21 (2014) nr. 3 pagina's 661-668 |
| Jaar: |
2014 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 15 van 25 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |