|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 25 gevonden artikelen
| Titel: |
Fabrication of nano-gap structures based on plastic deformation of strained Si springs by stiction effects |
| Auteur: |
Toda, Masaya Yokoyama, Atsushi Toan, Nguyen Van Inomata, Naoki Ono, Takahito |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 21 (2014) nr. 3 pagina's 649-654 |
| Jaar: |
2014 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 25 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |