|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 30 van 37 gevonden artikelen
| Titel: |
Parallel micro manipulator for optical spot array alignment of maskless lithography |
| Auteur: |
Li, Zheng Yuan Choi, Jong Yoon Ihn, Yong Seok Ji, Sang-Hoon Koo, Ja Choon |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 21 (2015) nr. 12 pagina's 2663-2668 |
| Jaar: |
2015 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 30 van 37 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |