|
Computation of capacitance and electrostatic forces for the electrostatically driving actuators considering fringe effects |
|
|
|
Titel: |
Computation of capacitance and electrostatic forces for the electrostatically driving actuators considering fringe effects |
Auteur: |
Fang, Dongming Zheng, Fengjie Chen, Bo Wang, Yu Fang, Yigeng Yang, Pengfei Wen, Xiaolong Peng, Chunrong Xia, Shanhong |
Verschenen in: |
Microsystem technologies |
Paginering: |
Jaargang 21 (2014) nr. 10 pagina's 2089-2096 |
Jaar: |
2014 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|