|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 15 gevonden artikelen
| Titel: |
Fabrication of high aspect ratio comb-drive actuator using deep X-ray lithography at Indus-2 |
| Auteur: |
Shukla, Rahul Dhamgaye, V. P. Jain, V. K. Ram Sankar, P. Mukherjee, C. Pant, B. D. Lodha, G. S. |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 20 (2014) nr. 7 pagina's 1273-1280 |
| Jaar: |
2014 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 15 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |