|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 13 van 19 gevonden artikelen
| Titel: |
Numerical characterization and experimental verification of an in-plane MEMS-actuator with thin-film aluminum heater |
| Auteur: |
Meszmer, Peter Hiller, Karla Hartmann, Steffen Shaporin, Alexey May, Daniel Rodriguez, Raul David Arnold, Jörg Schondelmaier, Gianina Mehner, Jan Zahn, Dietrich R. T. Wunderle, Bernhard |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 20 (2014) nr. 6 pagina's 1041-1050 |
| Jaar: |
2014 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 13 van 19 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |