|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 19 van 21 gevonden artikelen
| Titel: |
Preparation of sacrificial layer for MEMS devices by lift-off technology |
| Auteur: |
Yang, Jie Shi, Yu Zhong, Hui Jiao, Xiangquan Zhang, Rui Du, Bo |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 20 (2013) nr. 2 pagina's 259-263 |
| Jaar: |
2013 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 19 van 21 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |