|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 19 gevonden artikelen
| Titel: |
Fabrication of electrostatic MEMS microactuator based on X-ray lithography with Pb-based X-ray mask and dry-film-transfer-to-PCB process |
| Auteur: |
Kerdlapee, Pongsak Wisitsoraat, Anurat Phokaratkul, Ditsayuth Leksakul, Komgrit Phatthanakun, Rungreung Tuantranont, Adisorn |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 20 (2013) nr. 1 pagina's 127-135 |
| Jaar: |
2013 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 19 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |