|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 9 van 11 gevonden artikelen
| Titel: |
Movable microstructures made by a sub-micron LIGA process |
| Auteur: |
Börner, M. W. Kohl, M. Pantenburg, F. J. Bacher, W. Hein, H. Schomburg, W. K. |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 2 (1996) nr. 3 pagina's 149-152 |
| Jaar: |
1996 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 9 van 11 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |