|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 17 van 23 gevonden artikelen
| Titel: |
Releasing high aspect ratio SU-8 microstructures using AZ photoresist as a sacrificial layer on metallized Si substrates |
| Auteur: |
Lau, Kia Hian Giridhar, Archit Harikrishnan, Sekar Satyanarayana, Nalam Sinha, Sujeet K. |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 19 (2013) nr. 11 pagina's 1863-1871 |
| Jaar: |
2013 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 17 van 23 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |