|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 14 van 18 gevonden artikelen
| Titel: |
Monolithic integration of Pb(Zr,Ti)O3 thin film based resonators using a complete dry microfabrication process |
| Auteur: |
Jiang, Yonggang Kanda, Kensuke Iga, Yuki Fujita, Takayuki Higuchi, Kohei Maenaka, Kazusuke |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 19 (2012) nr. 1 pagina's 137-142 |
| Jaar: |
2012 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 14 van 18 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |