|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 16 gevonden artikelen
| Titel: |
A miniaturized bulk micromachined triaxial accelerometer fabricated using deep reactive etching through a multilevel thickness membrane |
| Auteur: |
Petricca, Luca Grinde, Christopher Ohlckers, Per |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 18 (2012) nr. 5 pagina's 613-622 |
| Jaar: |
2012 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 16 gevonden artikelen
| volgende >> |