|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 20 gevonden artikelen
| Titel: |
Low resistive silicon substrate as an etch-stop layer for drilling thick SiO2 by spark assisted chemical engraving (SACE) |
| Auteur: |
Ozhikandathil, Jayan Morrison, Andrew Packirisamy, Muthukumaran Wüthrich, Rolf |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 17 (2011) nr. 3 pagina's 373-380 |
| Jaar: |
2011 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 20 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |