|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 21 van 22 gevonden artikelen
| Titel: |
Theoretical and experimental study of capacitance considering fabrication process and edge effect for MEMS comb actuator |
| Auteur: |
Zhanshe, Guo Zhou, Feng Le, Cao Shangchun, Fan |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 17 (2010) nr. 1 pagina's 71-76 |
| Jaar: |
2010 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 21 van 22 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |