|
Development of near hermetic silicon/glass cavities for packaging of integrated lithium micro batteries |
|
|
|
Titel: |
Development of near hermetic silicon/glass cavities for packaging of integrated lithium micro batteries |
Auteur: |
Marquardt, Krystan Hahn, Robert Blechert, Martin Lehmann, Marco Töpper, Michael Wilke, Martin Semionyk, Peter Suchodoletz, Maria von Reichl, Herbert |
Verschenen in: |
Microsystem technologies |
Paginering: |
Jaargang 16 (2009) nr. 7 pagina's 1119-1129 |
Jaar: |
2009 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|