|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 25 van 28 gevonden artikelen
| Titel: |
Study on microstructural, chemical and electrical properties of tantalum nitride thin films deposited by reactive direct current magnetron sputtering |
| Auteur: |
Grosser, Michaela Münch, M. Brenner, J. Wilke, M. Seidel, H. Bienert, C. Roosen, A. Schmid, U. |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 16 (2010) nr. 5 pagina's 825-836 |
| Jaar: |
2010 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 25 van 28 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |