|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 11 van 22 gevonden artikelen
| Titel: |
Grain size control of (111) polycrystalline 3C-SiC films by doping used as folded-beam MEMS resonators for energy dissipation |
| Auteur: |
Chang, Wen-Teng Zorman, Christian |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 15 (2009) nr. 6 pagina's 875-880 |
| Jaar: |
2009 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 11 van 22 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |