|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 6 van 17 gevonden artikelen
| Titel: |
Asymmetric surface roughness measurements and meniscus modeling of polysilicon surface micromachined flaps |
| Auteur: |
Xue, Xiaojie Phinney, Leslie M. Polycarpou, Andreas A. |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 14 (2007) nr. 1 pagina's 17-29 |
| Jaar: |
2007 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 6 van 17 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |