|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 21 van 32 gevonden artikelen
| Titel: |
Investigations on possibilities of inline inspection of high aspect ratio microstructures |
| Auteur: |
Engelke, Rainer Ahrens, Gisela Arndt-Staufenbiehl, Norbert Kopetz, Stefan Wiesauer, Karin Löchel, Bernd Schröder, Henning Kastner, Johann Neyer, Andreas Stifter, David Grützner, Gabi |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 13 (2006) nr. 3-4 pagina's 319-325 |
| Jaar: |
2006 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 21 van 32 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |