|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 66 gevonden artikelen
| Titel: |
A new generic surface micromachining module for MEMS hermetic packaging at temperatures below 200 °C |
| Auteur: |
Hellín Rico, R. Celis, J.-P. Baert, K. Van Hoof, C. Witvrouw, A. |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 13 () nr. 11-12 pagina's 1451-1456 |
| Jaar: |
2007-01-04 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 66 gevonden artikelen
| volgende >> |