|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 14 gevonden artikelen
| Titel: |
Fabrication and characterization of DRIE-micromachined electrostatic microactuators for hard disk drives |
| Auteur: |
Chen, Bangtao Miao, Jianmin Tay, Francis E. H. |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 13 (2006) nr. 1 pagina's 11-19 |
| Jaar: |
2006 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 14 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |