|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 17 van 30 gevonden artikelen
| Titel: |
Micro-electro-mechanical systems fast fabrication by selective thick polysilicon growth in epitaxial reactor |
| Auteur: |
Sagazan, O. De Denoual, M. Guil, P. Gaudin, D. Bonnaud, O. |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 12 (2006) nr. 10-11 pagina's 953-958 |
| Jaar: |
2006 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 17 van 30 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |