|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 30 gevonden artikelen
| Titel: |
A capacitance and optical method for the static and dynamic characterization of micro electro mechanical systems (MEMS) devices |
| Auteur: |
Ferraris, Eleonora Fassi, Irene Masi, Biagio De Rosing, Richard Richardson, Andrew |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 12 (2006) nr. 10-11 pagina's 1053-1061 |
| Jaar: |
2006 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 30 gevonden artikelen
| volgende >> |