|
SOI-CMOS compatible low-power gas sensor using sputtered and drop-coated metal-oxide active layers |
|
|
|
Titel: |
SOI-CMOS compatible low-power gas sensor using sputtered and drop-coated metal-oxide active layers |
Auteur: |
Ivanov, P. Laconte, J. Raskin, J. P. Stankova, M. Sotter, E. Llobet, E. Vilanova, X. Flandre, D. Correig, X. |
Verschenen in: |
Microsystem technologies |
Paginering: |
Jaargang 12 (2005) nr. 1-2 pagina's 160-168 |
Jaar: |
2005 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|