|
Contact force detection on a minute aperture mounted optical contact slider using an acoustic emission sensor |
|
|
|
Titel: |
Contact force detection on a minute aperture mounted optical contact slider using an acoustic emission sensor |
Auteur: |
Ohkubo, Toshifumi Tanaka, Kenji Hirota, Terunao Hosaka, Hiroshi Itao, Kiyoshi Shinohara, Yoko Maeda, Hideo Kato, Kenji Mitsuoka, Yasuyuki Nakajima, Kunio |
Verschenen in: |
Microsystem technologies |
Paginering: |
Jaargang 11 (2005) nr. 8-10 pagina's 1094-1101 |
Jaar: |
2005 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|