|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 20 van 21 gevonden artikelen
| Titel: |
Tuning the quality factor of bulk micromachined structures using squeezed-film damping |
| Auteur: |
Cheng, C.-C. Fang, W. |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 11 (2005) nr. 2-3 pagina's 104-110 |
| Jaar: |
2005 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 20 van 21 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |