|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 21 gevonden artikelen
| Titel: |
A new pre-etching pattern to determine 〈110〉 crystallographic orientation on both (100) and (110) silicon wafers |
| Auteur: |
Chang, W.-H. Huang, Y.-C. |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 11 (2005) nr. 2-3 pagina's 117-128 |
| Jaar: |
2005 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 21 gevonden artikelen
| volgende >> |