|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 11 van 12 gevonden artikelen
| Titel: |
Process research of high aspect ratio microstructure using SU-8 resist |
| Auteur: |
Liu, J. Cai, B. Zhu, J. Ding, G. Zhao, X. Yang, C. Chen, D. |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 10 (2004) nr. 4 pagina's 265-268 |
| Jaar: |
2004 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 11 van 12 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |