|
Fabrication of cross-scale structures by Moiré effect in laser interference lithography |
|
|
|
Titel: |
Fabrication of cross-scale structures by Moiré effect in laser interference lithography |
Auteur: |
Liu, Mengnan Wang, Zuobin Dong, Litong Sun, Baishun Wang, Ying Wang, Lu Weng, Zhankun Tian, Yanling |
Verschenen in: |
Applied physics. B, Lasers and optics |
Paginering: |
Jaargang 128 () nr. 11 pagina's xx |
Jaar: |
2022-10-15 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|