|
Non-linear dissolution of amorphous arsenic sulfide-selenide photoresist films |
|
|
|
Titel: |
Non-linear dissolution of amorphous arsenic sulfide-selenide photoresist films |
Auteur: |
Lyubin, V. Arsh, A. Klebanov, M. Manevich, M. Varshal, J. Dror, R. Sfez, B. Latyshev, A. V. Nasimov, D. A. Eisenberg, N. P. |
Verschenen in: |
Applied physics. Part A, Materials science and processing |
Paginering: |
Jaargang 97 (2009) nr. 1 pagina's 109-114 |
Jaar: |
2009 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|