|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 15 van 35 gevonden artikelen
| Titel: |
Fabrication of Step-and-Flash Imprint Lithography (S-FIL) templates using XeF2 enhanced focused ion-beam etching |
| Auteur: |
Kettle, J. Hoyle, R. T. Dimov, S. |
| Verschenen in: |
Applied physics. Part A, Materials science and processing |
| Paginering: | Jaargang 96 (2009) nr. 4 pagina's 819-825 |
| Jaar: |
2009 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 15 van 35 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |