|
Structure and electrical properties of HfO2 high-k films prepared by pulsed laser deposition on Si (100) |
|
|
|
Titel: |
Structure and electrical properties of HfO2 high-k films prepared by pulsed laser deposition on Si (100) |
Auteur: |
Wang, Hao Wang, Y. Feng, J. Ye, C. Wang, B. Y. Wang, H. B. Li, Q. Jiang, Y. Huang, A. P. Xiao, Z. S. |
Verschenen in: |
Applied physics. Part A, Materials science and processing |
Paginering: |
Jaargang 93 (2008) nr. 3 pagina's 681-684 |
Jaar: |
2008 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|