|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 68 van 78 gevonden artikelen
| Titel: |
Sacrificial etching of AlxGa1-xAs for III–V MEMS surface micromachining |
| Auteur: |
Kumar, P. Kanakaraju, S. DeVoe, D.L. |
| Verschenen in: |
Applied physics. Part A, Materials science and processing |
| Paginering: | Jaargang 88 () nr. 4 pagina's 711-714 |
| Jaar: |
2007-05-24 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 68 van 78 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |