|
Characterization and optimization of magnetron sputtered Sc/Si multilayers for extreme ultraviolet optics |
|
|
|
Titel: |
Characterization and optimization of magnetron sputtered Sc/Si multilayers for extreme ultraviolet optics |
Auteur: |
Gautier, J. Delmotte, F. Bridou, F. Ravet, M.F. Varniere, F. Roulliay, M. Jerome, A. Vickridge, I. |
Verschenen in: |
Applied physics. Part A, Materials science and processing |
Paginering: |
Jaargang 88 () nr. 4 pagina's 719-725 |
Jaar: |
2007-05-23 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|