|
Effects of sputter deposition parameters and post-deposition annealing on the electrical characteristics of LaAlO3 dielectric films on Si |
|
|
|
Titel: |
Effects of sputter deposition parameters and post-deposition annealing on the electrical characteristics of LaAlO3 dielectric films on Si |
Auteur: |
Edon, V. Hugon, M.C. Agius, B. Miotti, L. Radtke, C. Tatsch, F. Ganem, J.J. Trimaille, I. Baumvol, I.J.R. |
Verschenen in: |
Applied physics. Part A, Materials science and processing |
Paginering: |
Jaargang 83 (2006) nr. 2 pagina's 289-293 |
Jaar: |
2006 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|