|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 28 gevonden artikelen
| Titel: |
Hybrid pulsed laser deposition and Si-surface-micromachining process for integrated TiC coatings in moving MEMS |
| Auteur: |
Radhakrishnan, G. Robertson, R.E. Cole, R.C. Adams, P.M. |
| Verschenen in: |
Applied physics. Part A, Materials science and processing |
| Paginering: | Jaargang 77 (2003) nr. 2 pagina's 175-184 |
| Jaar: |
2003 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 28 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |