|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 54 van 84 gevonden artikelen
| Titel: |
Pushing feature size down to 11 nm by hyperbolic metamaterials-based interference photolithography under illumination of UV light source |
| Auteur: |
Yang, Xuefeng Zhang, Shuxia Wang, Baoji Cai, Xiaolin Li, Xiaohua Yu, Weiyang Wang, Qin Lu, Zhongliang |
| Verschenen in: |
Applied physics. Part A, Materials science and processing |
| Paginering: | Jaargang 129 () nr. 2 pagina's xx |
| Jaar: |
2023-01-09 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 54 van 84 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |