Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 36 van 84 gevonden artikelen
 
 
  Influence of nitrogen flow ratio on properties of c-axis oriented AlN films grown by RF magnetron sputtering
 
 
Titel: Influence of nitrogen flow ratio on properties of c-axis oriented AlN films grown by RF magnetron sputtering
Auteur: Chen, Guifeng
Li, Haoran
Xie, Xinjian
Xie, Luxiao
Wang, Endong
Liu, Guodong
Zhang, Hui
Lu, Bowen
Li, Changxing
Pei, Haobo
Verschenen in: Applied physics. Part A, Materials science and processing
Paginering: Jaargang 127 () nr. 11 pagina's xx
Jaar: 2021-10-06
Inhoud:
Uitgever: Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 36 van 84 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland