|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 3 van 73 gevonden artikelen
| Titel: |
Boosted anchor quality factor of a thin-film aluminum nitride-on-silicon length extensional mode MEMS resonator using phononic crystal strip |
| Auteur: |
Ha, Thi Dep |
| Verschenen in: |
Applied physics. Part A, Materials science and processing |
| Paginering: | Jaargang 127 () nr. 10 pagina's xx |
| Jaar: |
2021-09-05 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 3 van 73 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |