|
Disordering kinetics in monocrystalline and epitaxial Si upon energy deposition induced by dual-beam ion irradiation |
|
|
|
Titel: |
Disordering kinetics in monocrystalline and epitaxial Si upon energy deposition induced by dual-beam ion irradiation |
Auteur: |
Debelle, A. Gutierrez, G. Boulle, A. Garrido, F. Najjar, O. Olebunne, E. Pallier, F. Cabet, C. Thomé, L. |
Verschenen in: |
Applied physics. Part A, Materials science and processing |
Paginering: |
Jaargang 127 () nr. 10 pagina's xx |
Jaar: |
2021-09-18 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|